1、物理法基本上，工业上的大量制备都是采用物理法。将空气温度下降到零下100-200左右，再根据不同的液态气体沸点将不需要的氮等过滤掉，剩下的就是高纯度的氧气了。
2、排水集气法氧气是无色无味，不易溶于水的气体，所以可用排水法收集。用排水法收集氧气时，要先将集气瓶装满水，倒立于水槽中，瓶底不能有气泡。当气泡连续、均匀冒出时，再把导管口放在瓶口内开始收集。导管口一开始冒气泡时，不宜立即收集，因为此时的氧气中混有空气，当瓶内收集满氧气，即瓶内的水全部排净时，在水下用毛玻璃片盖好后取出，将集气瓶正放在桌面上备用即可。
3、向上排空气法由于氧气的密度比空气大，所以可以用向上排气法收集。用向上排空气法收集氧气时，一定要将导管伸到集气瓶的底部，并且收集的时间要稍微延长一点（以防瓶内的空气排不干净），还要注意用毛玻璃片盖住一半瓶口（以防密度更大的气体进入瓶内）。否则会使收集的氧气的纯度不高。这样收集的氧气的纯度不如用排水法收集的高，但是比较干燥。